捕捉光子

內(nèi)置微孔芯片的高水平集成光學(xué)檢測器系統(tǒng)
為了滿足探測器系統(tǒng)日益增長的緊湊性以及高度集成化的需求，Si傳感器的業(yè)內(nèi)領(lǐng)導(dǎo)者——silicon sensor公司，采用了新的芯片制造技術(shù)，通過在探測器硅晶圓內(nèi)部預(yù)設(shè)空腔，把發(fā)光源固定在探測器芯片模上。這個設(shè)計思路使得更多的緊湊型探測器概念成為現(xiàn)實。

隨著PIN光電二極管的發(fā)展，Silicon Sensor公司采用了更為簡捷的方式，開發(fā)了內(nèi)置光源或是光纖的高性能傳感器芯片，同時也保證了芯片的精確性以及緊湊性。
在探測器芯片模內(nèi)部的的開口區(qū)域可以覆蓋了光刻掩模圖案或濾波片。微孔尺寸可以根據(jù)激光光源、LED光源或是特定光斑尺寸而定。這種微孔芯片技術(shù)可以被用作光散射檢測，還可用軸線對稱檢測系統(tǒng)以及微管安裝檢測系統(tǒng)。此芯片同樣適用于處于嚴峻環(huán)境下的交換器，終端和色澤探測。還可以檢測微小物體的位移。
在下列圖表中，我們在單區(qū)域探測器中為光源預(yù)留了邊長500μm的矩形孔。表格中為所測得的暗電流的特性。為了達到探測器設(shè)計的最佳方案，也可以設(shè)計成其他幾何形狀的孔。

 
該芯片采用高電阻式外延硅片，也可以采用大塊襯底或者晶圓壓焊基質(zhì)。使用特殊的增透膜可以使探測器對于特定波長具有最佳的靈敏度。
我們也提供四象限芯片或者是多分區(qū)二極管（如下圖所示），以此來制造合適的軸對稱探測器。

 
現(xiàn)有的技術(shù)還可以通過堆棧芯片來制造用于多光譜測量的探測器，如下圖所示。恰當(dāng)?shù)卦O(shè)計上部以及下部的二極管，探測器可以被良好地用于這個應(yīng)用。

 
Silicon Sensor公司為復(fù)雜的傳感器應(yīng)用提供切邊技術(shù)。
若有全面的細節(jié)問題或有客戶意見可以聯(lián)系我們.